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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得硼扩散反应进气系统及反应设备专利,提高硅片方阻的均匀性
0次浏览     发布时间:2025-04-05 13:53:00    

金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“硼扩散反应进气系统及反应设备”的专利,授权公告号 CN 222715503 U,申请日期为2024年2月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种硼扩散反应进气系统及反应设备,硼扩散反应进气系统包括硼源进气组件与反应进气组件,硼源进气组件包括第一进气管,第一进气口用于通入硼源,第一进气口用于直接连通反应腔,反应进气组件包括至少一个第二进气管,第二进气口用于通入氧气或氮气,第二进气管与所述第一进气管隔绝;反应设备包括硼扩散反应进气系统。本实用新型中,第一进气管与第二进气管相互隔绝,硼源与其他反应气体分别通过第一进气管与第二进气管进气,阻断了硼源气体与氧气在反应腔外的混合,降低了硼源气体与反应气体在进入反应腔之前提前反应的可能性,并降低进气方式对反应腔内气场的影响,提高硅片方阻的均匀性。

天眼查资料显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司,成立于2007年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本34817.5136万人民币,实缴资本29835万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业,参与招投标项目86次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息464条,此外企业还拥有行政许可67个。

本文源自金融界

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