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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得硼扩散反应进气系统及反应设备专利,提高硅片方阻的均匀性
金融界2025年4月5日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司取得一项名为“硼扩散反应进气系统及反应设备”的专利,授权公告号 CN 222715503 U,申请日期为2024年2月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种硼扩散反应进气系统及反应设备,硼扩散反应进气系统包括硼源
2025-04-05 13:53:00
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